第630章 造不如买
既然猜到了曲慧极有可能是在双工件台技术上取得了突破,苏远山接下来可就真有点坐不住了。
但他太了解曲慧了。
这姐妹儿,干练豪爽不说,还古灵精怪……既然打定主意要给自己兜圈子,那自己怎么问都是没个结果的。
好在一小时并不长,当他打开一篇最新的石墨烯领域的paper后,时间便迅速流逝起来。
嗯,主要是他现在难得遇到一篇不灌水的石墨烯论文。
……
一小时后,曲慧与郑振川如约而至。
“郑叔,慧姐,好久不见。”苏远山早已在客座沙发旁等着,就连茶都已经准备好了。
“嗯,是有不少时间了。”曲慧出乎意料地留了头发,还梳了个马尾,脖子上围着丝巾。她笑呵呵地坐到苏远山对面。
“这下可以说了吧,到底是什么惊喜——别让我猜啊。”
“其实就是工件台成了。”曲慧一副云淡风轻的表情,端起茶杯吹了口气后笑眯眯地道:“你猜到了是吧?”
“你和郑叔一起过来,不是光刻机的事还能是啥?”苏远山一摊手,笑道:“让我干等了一个小时,再惊的喜也给整没了。”
“害!我就应该给周小慧偷偷打个电话问一下的——对了,周小慧呢?”
“不知道,估计是在天驹那边吧。今天德仪那边刚好有人过来,她去接待一下。”苏远山顿了顿,望向郑振川:“郑叔,别告诉我,你们已经将工件台用在光刻机上了。”
“哈哈,当然没有。”
郑振川放下茶杯,冲苏远山乐道:“你先听小曲的,等会我再说。”
“嗯……”苏远山听到郑振川这语气,顿时心中多了几分“警惕”起来。
这老爷子,语气听起来不对呐!
感情这次不是单纯的“报喜”,似乎还有套等着自己。
不过他依旧不动声色,整个人放松了姿势:“曲慧姐,你说,工件台到底怎么样了。”
“成了,但有点麻烦。”曲慧知道苏远山对光刻机倾注的心血不比晶圆厂少,此刻也不开玩笑,正色了起来:“你知道的,制约国产光刻机精度的最大敌人就是精度。”
苏远山点头:“嗯,不用你说,我就算再不懂机械也知道。”
“精度的最大问题又会最终落在电机控制,材料,加工精度上。”曲慧抿着嘴,慢慢道。
“双工件台的构想是根据华罗庚先生的统筹方法思想而来,原理就是把在曝光过程中处于等待状态下的流程先走一步。实现一个工件台曝光,一边进行测量对准等工作。等到曝光完毕,就可以不用再测量对准,从而直接就可以移动平台,然后曝光。”
“根据我们的估计,在目前的工艺水平下,采用双工件台除了可以提高30%以上的效率之外,还可以略微提高精度——别的不说,10%起码有的。”
苏远山再次点头:“然后呢?”
“我们这次取得的突破,是在运动定位模块和流程控制系统上。”
苏远山听得眉毛一扬!
他哪怕对双工件台的设计和原理再不懂,他也知道,实现双工件台最困难的地方便是运动定位系统,是真正的“牵一发动全身”“差之毫厘,谬之千里”。
而且苏远山还知道,ASML的初代双工件台,其实效率并不十分高,只能说略有提升——就是因为控制系统不成熟。不然也不会直到浸没式光刻机出来之后才正式宣判尼康和佳能死刑。
双工件台技术真正的成熟,还必须等到磁悬浮技术诞生。只有那样,才能把误差缩短到极限。
但一切的前提还是控制系统。
那么……既然都已经取得突破了,还有什么麻烦?
“那麻烦在哪?”
“麻烦在于,我们目前只能实现微米的精度。”曲慧紧缩着眉,凝望着苏远山道:“而且,精度越高,摩擦系数和阻尼作用就越强。我有点担心,它在未来能不能追上光刻机的步伐。”
“我给你坦白吧,目前首精上下普遍都很振奋——我虽然也高兴,也知道不能泼冷水。但如果工件台无法用在最先进的光刻机上,那它的意义就少了许多。”
“还有一点,我们目前的工业基础,只能允许我们做到这个极限。”
苏远山沉默地听着曲慧的介绍,终于明白了她的忧虑在哪。
几秒后,苏远山微笑着摇头:“曲慧姐,其实你们已经很厉害了。”
他这句话不是安慰人,而是真心这样认为。
虽然他很少直接去首都精科那边,但各种支持从来都是不遗余力的。要什么协助给什么协助,就算要机床,他也在前年的时候费尽周折地搞了一台。
所以,双工件台名义上是首都精科一个企业搞的技术,但实际上,却是一个由原首都精密仪器研究所,远芯,志远,清华这四方巨头联合进行的一次技术攻关。
从阵容上,这个团队就已经堪称豪华了。
要知道,搞机械,特别是精密机械,它不比搞程序设计。
程序设计可以叫嚣“只有想不到,没有做不到”,但机械设计还真是,你能想到,但基本上办不到。
双工件台的构思说白了,就如曲慧所说的那样,源自华罗庚老先生的统筹方法——就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净,茶叶拿出来丢进杯子里,顺便还拧着暖水壶在一旁等着,只要水开,马上就能泡茶,装水,一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。
但真要实现起来却不简单,毕竟这是两个工件台的协同配合,而且要保持高速运动下的微米的运动精度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上,其中一架飞机伸出一根杆子,在对面的机身上刻微米大小的字。
至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。
因为曲慧刚出校门就进入了远芯,亲自参加了EDA的诞生,又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。
说白了,就是曲慧所参与,所看到的,全是世界顶级的技术成果。
双工件台虽然出来了,却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。
她不甘心。
“这样,曲慧姐,我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走,但苏远山却知道双工件台的未来在何方。
“嗯?你说什么方向。”
“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦,所以……如果要把目光瞄准到十年,二十年之后,瞄准到纳米级精度的话,我认为,只有一条路,就是磁悬浮。”
“磁悬浮?”曲慧闻言一怔,直愣愣地望着苏远山。
郑振川也惊讶起来:“小山,磁悬浮能用在工件台上?”
“不是磁悬浮能用在工件台上,而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏,实现超精密运动控制,在现有的自然科学和机械空城的框架下,就只有磁悬浮这一条路。”
曲慧沉默数秒后慢慢点头,喃喃道:“是了,磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势,避开短板。”
“可是,那个难度怕是有点大吧?现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案?”郑振川则想了想,迟疑地问道。
“不知道,但管他呢!”曲慧吸了口气,整个人瞬间振奋了起来,望向苏远山道:“小山,你真觉得那是个方向?”
“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。
*
有了新方向的曲慧再无心交谈,转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。
见曲慧这模样,苏远山也在心里暗暗发笑——曲慧别看已经三十岁了,可长期以来身处科研一线,身份身家都无与伦比,以至于心态还是小姑娘心态。
“郑叔,怎么说?”苏远山起身给郑振川斟满茶水,笑呵呵地问道:“你别告诉,你是来推销光刻机的。”
“嗯,还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来,笑着道:“我们拿到了蔡司的镜头和Cymer的KrF光源,接下来就能量产最低微米工艺节点的光刻机了。”
“我靠!”
苏远山眼珠子一瞪,差点没从沙发上弹起来:“怎么拿到的?”
“呵呵,别激动。”郑振川好整以暇地抿了一口茶:“怎么样,要不要来两台?”
“等等!”苏远山马上便清醒过来:“别拿空头支票来忽悠我,先说清楚,什么时候可以可以出厂。”
“最多半年。”
听到这个半年,苏远山又默默地算了一下自家光源的时间,这才慢慢平静下来,笑着骂了一句:“NND,帝国主义亡我之心不死。”
“是啊……但这样好歹能把咱们的光刻机与尼康佳能的距离缩到只有一代了,对吧?”
“嗯,这倒是。”
苏远山含笑望着郑振川,突然越看越觉得这老头有点像“买办”了。
很显然,在这个时候,蔡司和Cymer突然对国产光刻机放行,除了有霓国同行的竞争之外,还有就是有把国内的光源和镜头技术“扼杀”在摇篮的想法。
要知道,他们给的光源和镜头,可不是最先进的……
Cymer都已经搞出193的ArF了,正在想搞EUV或者F2呢。
“不过郑叔,我们已经预定了尼康最先进的DUV光刻机,他们的节点可是能够到65纳米。”苏远山一耸肩,呵呵笑道:“差不多半年。”
“……”郑振川便带着一脸哀怨地看着苏远山:“当初你说好要支持的呢?”
“我当然一直都是支持的,但这事儿我做不了主啊郑叔。你不应该找我,而是应该去找德远的张博士。”
说着苏远山便疑惑起来:“不对,郑叔……无锡那么多晶圆厂,为什么你不去找他们?”
远芯在光刻机,晶圆厂的战略方向一直很明确,就是以保持制程和工艺的领先——换言之就是设备上不能落后。
光刻机自然要支持,甚至还要大力支持。但钱可以出,在有选择的情况下,买一堆落后的产品,这事儿却是不能干的。
国家也认同远芯的发展,因此从来把希望寄托在远芯身上,继而让华晶,华鑫,首晶等新老国有控股的晶圆厂大力采购国产光刻机,用以扶持。
所以郑振川找苏远山,是没找对门。
“因为每个企业都有追求。”这时曲慧抬起头,悠悠地来了一句。
苏远山便望向郑振川,只见后者的表情已经变得苦涩了起来。
郑振川沉默几秒后,发出了一声轻叹:“国外同行在今年开了不少口子,国内的晶圆厂,只要有钱,基本上都能买到KrF的光刻机……”
“现在国家上上下下都在讲市场化,就算上面再支持我们,也不可能说强制下行政命令让企业只买我们的光刻机吧?”
“而且……我们的光刻机……确实,我承认,稳定性比起国外同行差了一点。但我们起步晚,这是很正常的,总要给我们一点时间进步和完善,对吧?”
“现在倒好,随着国外解禁,国内企业又开始有钱了……再加上国家一直在推动无锡那边的产业升级,成立了以华晶为首的半导体联盟。旨在提高整个国内半导体行业的元器件自产率和制程升级……所以,我们在目前落后两代的情况下,确实有点难搞。”
“现在无锡那边,已经有人在诋毁说咱们的光刻机这不行,那不行……还不如多花点钱买ASML和尼康佳能。”
“在那些人眼里,晶圆厂就是印钞厂,光刻机就是印钞机,就算再贵,只要够先进,能稳定运行,那印到后面就是印的钞票。”
静静地听郑振川说完,苏远山意识到,历史的走向已经完全改变了。
但有一样还是没变。
造不如买的思想没变。
——事实上,造不如买不仅仅是一种思想,而是一个持续在整个工业化进程中的现象。
原因很简单,机械设备领域,确实不如别人。
工欲善其事,必先利其器。
哪怕它再贵,稳定性和效率依旧压倒一切。
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但他太了解曲慧了。
这姐妹儿,干练豪爽不说,还古灵精怪……既然打定主意要给自己兜圈子,那自己怎么问都是没个结果的。
好在一小时并不长,当他打开一篇最新的石墨烯领域的paper后,时间便迅速流逝起来。
嗯,主要是他现在难得遇到一篇不灌水的石墨烯论文。
……
一小时后,曲慧与郑振川如约而至。
“郑叔,慧姐,好久不见。”苏远山早已在客座沙发旁等着,就连茶都已经准备好了。
“嗯,是有不少时间了。”曲慧出乎意料地留了头发,还梳了个马尾,脖子上围着丝巾。她笑呵呵地坐到苏远山对面。
“这下可以说了吧,到底是什么惊喜——别让我猜啊。”
“其实就是工件台成了。”曲慧一副云淡风轻的表情,端起茶杯吹了口气后笑眯眯地道:“你猜到了是吧?”
“你和郑叔一起过来,不是光刻机的事还能是啥?”苏远山一摊手,笑道:“让我干等了一个小时,再惊的喜也给整没了。”
“害!我就应该给周小慧偷偷打个电话问一下的——对了,周小慧呢?”
“不知道,估计是在天驹那边吧。今天德仪那边刚好有人过来,她去接待一下。”苏远山顿了顿,望向郑振川:“郑叔,别告诉我,你们已经将工件台用在光刻机上了。”
“哈哈,当然没有。”
郑振川放下茶杯,冲苏远山乐道:“你先听小曲的,等会我再说。”
“嗯……”苏远山听到郑振川这语气,顿时心中多了几分“警惕”起来。
这老爷子,语气听起来不对呐!
感情这次不是单纯的“报喜”,似乎还有套等着自己。
不过他依旧不动声色,整个人放松了姿势:“曲慧姐,你说,工件台到底怎么样了。”
“成了,但有点麻烦。”曲慧知道苏远山对光刻机倾注的心血不比晶圆厂少,此刻也不开玩笑,正色了起来:“你知道的,制约国产光刻机精度的最大敌人就是精度。”
苏远山点头:“嗯,不用你说,我就算再不懂机械也知道。”
“精度的最大问题又会最终落在电机控制,材料,加工精度上。”曲慧抿着嘴,慢慢道。
“双工件台的构想是根据华罗庚先生的统筹方法思想而来,原理就是把在曝光过程中处于等待状态下的流程先走一步。实现一个工件台曝光,一边进行测量对准等工作。等到曝光完毕,就可以不用再测量对准,从而直接就可以移动平台,然后曝光。”
“根据我们的估计,在目前的工艺水平下,采用双工件台除了可以提高30%以上的效率之外,还可以略微提高精度——别的不说,10%起码有的。”
苏远山再次点头:“然后呢?”
“我们这次取得的突破,是在运动定位模块和流程控制系统上。”
苏远山听得眉毛一扬!
他哪怕对双工件台的设计和原理再不懂,他也知道,实现双工件台最困难的地方便是运动定位系统,是真正的“牵一发动全身”“差之毫厘,谬之千里”。
而且苏远山还知道,ASML的初代双工件台,其实效率并不十分高,只能说略有提升——就是因为控制系统不成熟。不然也不会直到浸没式光刻机出来之后才正式宣判尼康和佳能死刑。
双工件台技术真正的成熟,还必须等到磁悬浮技术诞生。只有那样,才能把误差缩短到极限。
但一切的前提还是控制系统。
那么……既然都已经取得突破了,还有什么麻烦?
“那麻烦在哪?”
“麻烦在于,我们目前只能实现微米的精度。”曲慧紧缩着眉,凝望着苏远山道:“而且,精度越高,摩擦系数和阻尼作用就越强。我有点担心,它在未来能不能追上光刻机的步伐。”
“我给你坦白吧,目前首精上下普遍都很振奋——我虽然也高兴,也知道不能泼冷水。但如果工件台无法用在最先进的光刻机上,那它的意义就少了许多。”
“还有一点,我们目前的工业基础,只能允许我们做到这个极限。”
苏远山沉默地听着曲慧的介绍,终于明白了她的忧虑在哪。
几秒后,苏远山微笑着摇头:“曲慧姐,其实你们已经很厉害了。”
他这句话不是安慰人,而是真心这样认为。
虽然他很少直接去首都精科那边,但各种支持从来都是不遗余力的。要什么协助给什么协助,就算要机床,他也在前年的时候费尽周折地搞了一台。
所以,双工件台名义上是首都精科一个企业搞的技术,但实际上,却是一个由原首都精密仪器研究所,远芯,志远,清华这四方巨头联合进行的一次技术攻关。
从阵容上,这个团队就已经堪称豪华了。
要知道,搞机械,特别是精密机械,它不比搞程序设计。
程序设计可以叫嚣“只有想不到,没有做不到”,但机械设计还真是,你能想到,但基本上办不到。
双工件台的构思说白了,就如曲慧所说的那样,源自华罗庚老先生的统筹方法——就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净,茶叶拿出来丢进杯子里,顺便还拧着暖水壶在一旁等着,只要水开,马上就能泡茶,装水,一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。
但真要实现起来却不简单,毕竟这是两个工件台的协同配合,而且要保持高速运动下的微米的运动精度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上,其中一架飞机伸出一根杆子,在对面的机身上刻微米大小的字。
至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。
因为曲慧刚出校门就进入了远芯,亲自参加了EDA的诞生,又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。
说白了,就是曲慧所参与,所看到的,全是世界顶级的技术成果。
双工件台虽然出来了,却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。
她不甘心。
“这样,曲慧姐,我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走,但苏远山却知道双工件台的未来在何方。
“嗯?你说什么方向。”
“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦,所以……如果要把目光瞄准到十年,二十年之后,瞄准到纳米级精度的话,我认为,只有一条路,就是磁悬浮。”
“磁悬浮?”曲慧闻言一怔,直愣愣地望着苏远山。
郑振川也惊讶起来:“小山,磁悬浮能用在工件台上?”
“不是磁悬浮能用在工件台上,而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏,实现超精密运动控制,在现有的自然科学和机械空城的框架下,就只有磁悬浮这一条路。”
曲慧沉默数秒后慢慢点头,喃喃道:“是了,磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势,避开短板。”
“可是,那个难度怕是有点大吧?现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案?”郑振川则想了想,迟疑地问道。
“不知道,但管他呢!”曲慧吸了口气,整个人瞬间振奋了起来,望向苏远山道:“小山,你真觉得那是个方向?”
“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。
*
有了新方向的曲慧再无心交谈,转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。
见曲慧这模样,苏远山也在心里暗暗发笑——曲慧别看已经三十岁了,可长期以来身处科研一线,身份身家都无与伦比,以至于心态还是小姑娘心态。
“郑叔,怎么说?”苏远山起身给郑振川斟满茶水,笑呵呵地问道:“你别告诉,你是来推销光刻机的。”
“嗯,还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来,笑着道:“我们拿到了蔡司的镜头和Cymer的KrF光源,接下来就能量产最低微米工艺节点的光刻机了。”
“我靠!”
苏远山眼珠子一瞪,差点没从沙发上弹起来:“怎么拿到的?”
“呵呵,别激动。”郑振川好整以暇地抿了一口茶:“怎么样,要不要来两台?”
“等等!”苏远山马上便清醒过来:“别拿空头支票来忽悠我,先说清楚,什么时候可以可以出厂。”
“最多半年。”
听到这个半年,苏远山又默默地算了一下自家光源的时间,这才慢慢平静下来,笑着骂了一句:“NND,帝国主义亡我之心不死。”
“是啊……但这样好歹能把咱们的光刻机与尼康佳能的距离缩到只有一代了,对吧?”
“嗯,这倒是。”
苏远山含笑望着郑振川,突然越看越觉得这老头有点像“买办”了。
很显然,在这个时候,蔡司和Cymer突然对国产光刻机放行,除了有霓国同行的竞争之外,还有就是有把国内的光源和镜头技术“扼杀”在摇篮的想法。
要知道,他们给的光源和镜头,可不是最先进的……
Cymer都已经搞出193的ArF了,正在想搞EUV或者F2呢。
“不过郑叔,我们已经预定了尼康最先进的DUV光刻机,他们的节点可是能够到65纳米。”苏远山一耸肩,呵呵笑道:“差不多半年。”
“……”郑振川便带着一脸哀怨地看着苏远山:“当初你说好要支持的呢?”
“我当然一直都是支持的,但这事儿我做不了主啊郑叔。你不应该找我,而是应该去找德远的张博士。”
说着苏远山便疑惑起来:“不对,郑叔……无锡那么多晶圆厂,为什么你不去找他们?”
远芯在光刻机,晶圆厂的战略方向一直很明确,就是以保持制程和工艺的领先——换言之就是设备上不能落后。
光刻机自然要支持,甚至还要大力支持。但钱可以出,在有选择的情况下,买一堆落后的产品,这事儿却是不能干的。
国家也认同远芯的发展,因此从来把希望寄托在远芯身上,继而让华晶,华鑫,首晶等新老国有控股的晶圆厂大力采购国产光刻机,用以扶持。
所以郑振川找苏远山,是没找对门。
“因为每个企业都有追求。”这时曲慧抬起头,悠悠地来了一句。
苏远山便望向郑振川,只见后者的表情已经变得苦涩了起来。
郑振川沉默几秒后,发出了一声轻叹:“国外同行在今年开了不少口子,国内的晶圆厂,只要有钱,基本上都能买到KrF的光刻机……”
“现在国家上上下下都在讲市场化,就算上面再支持我们,也不可能说强制下行政命令让企业只买我们的光刻机吧?”
“而且……我们的光刻机……确实,我承认,稳定性比起国外同行差了一点。但我们起步晚,这是很正常的,总要给我们一点时间进步和完善,对吧?”
“现在倒好,随着国外解禁,国内企业又开始有钱了……再加上国家一直在推动无锡那边的产业升级,成立了以华晶为首的半导体联盟。旨在提高整个国内半导体行业的元器件自产率和制程升级……所以,我们在目前落后两代的情况下,确实有点难搞。”
“现在无锡那边,已经有人在诋毁说咱们的光刻机这不行,那不行……还不如多花点钱买ASML和尼康佳能。”
“在那些人眼里,晶圆厂就是印钞厂,光刻机就是印钞机,就算再贵,只要够先进,能稳定运行,那印到后面就是印的钞票。”
静静地听郑振川说完,苏远山意识到,历史的走向已经完全改变了。
但有一样还是没变。
造不如买的思想没变。
——事实上,造不如买不仅仅是一种思想,而是一个持续在整个工业化进程中的现象。
原因很简单,机械设备领域,确实不如别人。
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